INFICON分析器

INFICON分析器

名稱： INFICON Analyser

型號: TRANSPECTOR MPH

品牌: INFICON

產(chǎn)地：瑞士

 

INFICON是創(chuàng)新儀器、關鍵傳感器技術(shù)和智能制造/工業(yè)4.0軟件解決方案的領先供應商，可提高工具、流程和整個工廠的生產(chǎn)力和質(zhì)量。這些分析、測量和控制產(chǎn)品對于檢測空調(diào)/制冷和汽車制造中的氣體泄漏至關重要。在光學設備、平板顯示器、太陽能電池和工業(yè)真空鍍膜應用的半導體和薄膜涂層的復雜制造過程中，它們對設備制造商和終端用戶至關重要。

 

 

1.瑞士INFICON分析儀 產(chǎn)品說明

硅片價格的上漲和對成品的需求意味著廢舊硅片的成本比以往更高。Transpector MPH 氣體分析系統(tǒng)旨在為您的所有氣體分析應用提供行業(yè)領先的性能，以最大限度地提高晶圓產(chǎn)量和減少工具停機時間。Transpector MPH 具有較低的總擁有成本和較高的平均故障間隔時間，與市場上任何其他殘余氣體分析儀 (RGA) 相比，它可以幫助您實現(xiàn)更多的利潤。INFICON 利用其在氣體分析和過程控制方面的專業(yè)知識，開發(fā)出具有行業(yè)領先的數(shù)據(jù)采集速度、最小可檢測分壓和信噪比的 RGA。所有這些都不會影響您對 INFICON Transpector 氣體分析儀所期望的可靠性。

 

2. INFICON分析儀在瑞士的產(chǎn)品概述

Transpector MPS通過監(jiān)測過程條件、檢測雜質(zhì)和檢查泄漏，幫助您優(yōu)化過程。Transpector MPS為客戶提供Transpector的強大功能 Transpector MPS有100 amu和200 amu兩種型號，可讓您靈活地執(zhí)行各種功能，如常規(guī)泄漏檢測、真空診斷和烴類分析。這種多功能性使 Transpector MPS 成為真空爐、熱處理和真空鍍膜應用中的首選傳感器。

 

3. INFICON分析儀的瑞士產(chǎn)品特點

新的 Transpector XPR 3+ 殘余氣體分析儀 (RGA) 提供行業(yè)領先的測量速度，以監(jiān)測和控制現(xiàn)代半導體和顯示器制造所需的快速過程變化。Transpector XPR 3+是一款成熟的四極和雙離子源傳感器，適用于濺射壓力應用，與周期性的回轉(zhuǎn)率測量相比，它的產(chǎn)品保護性能要好得多。無壓轉(zhuǎn)換設備、耐用部件以及快速檢測和診斷問題的能力相結(jié)合，使工具的可用性、產(chǎn)品產(chǎn)量和產(chǎn)量最大化。Transpector XPR 3+雙離子源室旨在限制涂層，以保持離子源的靈敏度，并延長傳感器的平均維護時間。

瑞士INFICON分析器 瑞士INFICON分析器

4，瑞士 INFICON 分析儀產(chǎn)品原理

十多年來，INFICON Transpector CPM一直是半導體行業(yè)過程監(jiān)控的殘余氣體分析儀（RGA）的市場領導者。Transpector CPM 3 是理想的 RGA 過程監(jiān)控器，適用于新的和成熟的半導體過程，如 ALD、CVD、PVD 和蝕刻。INFICON 提供 Transpector CPM 3，這是一個成熟的泵和入口系統(tǒng)，帶有新的傳感器和電子設備。Transpector® 單一壓力采樣 (SPS) 殘余氣體分析儀在目標高壓過程中為晶圓半成品和顯示面板提供最佳保護。Transpector SPS 通過在單一壓力下對氣體泄漏和工藝污染進行最靈敏的檢測，最大限度地減少了晶圓和面板的廢品。Transpector SPS 為穩(wěn)定的高壓過程提供最可靠的過程監(jiān)控，從而最大限度地提高過程吞吐量和產(chǎn)量。

 

5.瑞士INFICON分析儀的產(chǎn)品優(yōu)勢

這些儀器結(jié)合了一個簡單和具有成本效益的進口系統(tǒng)，以及一個經(jīng)過現(xiàn)場驗證的離子源和泵組，提供了一個低風險和有價值的氣體分析解決方案。Transpector SPS 適用于一般真空和工業(yè)應用，是冶金和熱處理應用（如真空電弧重熔 (VAR)）的成熟解決方案。標準孔口、毛細管和旁通管的組合可用于從1E-4 Torr到大氣壓的采樣過程壓力。耐腐蝕的入口，離子源