德國ADL HX 900工業(yè)直流電源額定功率下效率95%應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)

楊鵬輝            QQ：1569261908              手機(jī)：18501097796            電話：010-64714988-179            傳真：010-84786709-667            郵件：sales23@handelsen.cn

德國ADL HX 900工業(yè)直流電源額定功率下效率95%應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)

在薄膜涂層、磁控濺射等精密工業(yè)領(lǐng)域，電源設(shè)備的穩(wěn)定性、工藝適配性與運(yùn)行可靠性直接決定了產(chǎn)品質(zhì)量與生產(chǎn)效率。德國ADL（Analoge und Digitale Leistungselektronik GmbH）深耕電力電子領(lǐng)域三十余年，推出的HX900高功率水冷直流電源，以90kW額定功率、極速電弧管理與強(qiáng)悍環(huán)境適應(yīng)性，成為非反應(yīng)性陰極涂層工藝的優(yōu)選動力設(shè)備，為中大型大面積、高精度涂層生產(chǎn)線提供穩(wěn)定支撐。

一、ADL HX900產(chǎn)品定位：

HX900是ADL針對工業(yè)級非反應(yīng)性涂層工藝研發(fā)的主力機(jī)型，核心定位為4米以內(nèi)長陰極涂層生產(chǎn)線提供90kW級高效、穩(wěn)定的直流動力。其兼具經(jīng)濟(jì)性與高可靠性，模塊化結(jié)構(gòu)可靈活適配不同產(chǎn)能需求，無需復(fù)雜手動編程即可實(shí)現(xiàn)多目標(biāo)工藝切換，大幅降低調(diào)試成本與操作門檻，廣泛應(yīng)用于工具涂層、裝飾表面處理、建筑玻璃鍍膜、太陽能電池制備等中批量生產(chǎn)場景。

二、ADL HX900核心技術(shù)特性：

1. 額定功率精準(zhǔn)輸出與模塊化拓展

HX900額定輸出功率為90kW，搭配800V額定輸出電壓、280A額定電流，設(shè)定值精度達(dá)標(biāo)稱值的±1%，工藝重復(fù)性優(yōu)于2%，可精準(zhǔn)匹配中大型陰極與不同涂層厚度需求。采用模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，支持多臺并聯(lián)運(yùn)行，總功率可攀升至280kW以上，既能滿足現(xiàn)有中批量生產(chǎn)線需求，又能為后續(xù)產(chǎn)能擴(kuò)張?zhí)峁╈`活升級路徑，無需整體更換設(shè)備，降低全生命周期成本。

2. 極速自動電弧管理系統(tǒng)

電弧干擾是涂層工藝中影響靶材壽命與涂層質(zhì)量的關(guān)鍵問題，HX900搭載全自動電弧管理系統(tǒng)，響應(yīng)時間＜2μs，電弧能量＜0.3mJ/kW，可實(shí)現(xiàn)高達(dá)40,000電弧/秒的檢測與處理能力，消弧時間在6μs至3ms間自動調(diào)節(jié)。系統(tǒng)能實(shí)時識別工藝參數(shù)變化并自動調(diào)整，無需人工編程干預(yù)，每秒可自動補(bǔ)償2000次電弧，快速抑制電弧對涂層的損傷，同時通過自動功率補(bǔ)償功能，確保電弧發(fā)生后功率快速恢復(fù)穩(wěn)定，避免工藝中斷，顯著提升涂層均勻性與成品率。

3. 強(qiáng)悍水冷系統(tǒng)與全域環(huán)境適配

HX900采用工業(yè)級高效水冷設(shè)計(jì)，工作水壓范圍4-8bar，搭配集成溫控與電磁閥控制功能，可自動檢測環(huán)境濕度、防止冷凝水產(chǎn)生，精準(zhǔn)保護(hù)內(nèi)部電路組件。即便在無空調(diào)的高溫、高濕工業(yè)環(huán)境中，仍能實(shí)現(xiàn)24小時連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行，設(shè)備年損壞率低于1%。

三、ADL HX900關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)匯總

參數(shù)類別 具體指標(biāo)

輸出功率范圍 90kW（并聯(lián)可至280kW+）

輸出電壓/電流 800V / 280A

電弧處理能力 最高40,000電弧/秒，響應(yīng)時間＜2μs，消弧時間6μs-3ms

調(diào)節(jié)精度 設(shè)定值的±1%，工藝重復(fù)性≤2%

冷卻方式 工業(yè)水冷（4-8bar），電磁閥控制防冷凝

適配陰極長度 最長4米

轉(zhuǎn)換效率 額定功率下約95%

控制接口 支持Profibus DP、EtherCAT、RS232/485等工業(yè)協(xié)議

四、ADL HX900應(yīng)用價值

HX900憑借“德國制造”的嚴(yán)苛品控，在工業(yè)涂層領(lǐng)域展現(xiàn)出顯著應(yīng)用價值：針對非反應(yīng)性工藝的精準(zhǔn)適配能力，搭配低振動設(shè)計(jì)，可有效提升涂層質(zhì)量與生產(chǎn)穩(wěn)定性；全自動操作與模塊化設(shè)計(jì)，降低人力成本與升級門檻；高效水冷與低故障率（＜0.5%）特性，延長設(shè)備使用壽命，減少停機(jī)損失。ADL憑借三十余年濺射技術(shù)經(jīng)驗(yàn)，為HX900提供12個月質(zhì)保與專業(yè)技術(shù)支持，供貨周期7-60個工作日，可通過國內(nèi)授權(quán)經(jīng)銷商實(shí)現(xiàn)快速采購與售后響應(yīng)。

德國ADL HX 900工業(yè)直流電源額定功率下效率95%應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)